氣體安全
半導體行業(yè)的重要一環(huán)

近年來(lái)，半導體行業(yè)氣體泄漏事件時(shí)有發(fā)生，其中不乏美國、日本、韓國等知名半導體制造企業(yè)，由此衍生出的爆燃、光刻機損毀、超凈車(chē)間毀壞、晶圓批量報廢、人員傷亡等事故令人觸目驚心。

電子氣體是半導體制造過(guò)程中不可或缺的基礎材料，品類(lèi)多達上百種，成本約占芯片總成本的13%，被譽(yù)為“芯片血液”。

電子氣體多為易燃易爆、有毒有害、腐蝕性、窒息性氣體，一旦發(fā)生泄漏，哪怕是非常微小的泄漏，也可能引起爆炸、人員窒息或中毒事故。

氣體安全是半導體行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的重要一環(huán)。《特種氣體系統工程技術(shù)標準》(GB50646-2020)中有強制性規定，在儲存、輸送、使用特種氣體的區域或場(chǎng)所，如氣瓶柜和閥門(mén)箱的排風(fēng)管口處、廢氣處理裝置排風(fēng)出管口處、惰性氣體車(chē)間等，應設置特種氣體探測裝置。

高性能傳感加持
半導體行業(yè)專(zhuān)用氣體檢測儀

漢威科技集團推出的半導體工廠(chǎng)氣體檢測儀GD-HS10，是一款專(zhuān)門(mén)用于檢測半導體工廠(chǎng)中可燃、有毒、有害氣體泄漏的高端自研產(chǎn)品，具有高靈敏度、高可靠性、低濃度檢測等特點(diǎn)，可檢測氨氣、砷化氫、氯氣、硅烷等上百種氣體，適用于半導體、液晶面板、光伏和電池制造等行業(yè)。

廣泛覆蓋—支持上百種氣體檢測
支持電化學(xué)、催化、光學(xué)等多種原理的氣體傳感器，可檢測上百種氣體，支持個(gè)性化定制。

使用方便—傳感器模組即插即用
傳感器采用模塊化設計，即插即用，更換、維護更方便靈活。

性能領(lǐng)先—超遠距離高精度檢測
進(jìn)氣管長(cháng)達30米，可進(jìn)行超遠距離檢測；每種氣體均采用對應溫度補償及融合算法，可實(shí)現ppm級高精度精準檢測。

直觀(guān)顯示—點(diǎn)陣式大屏一目了然
點(diǎn)陣式LCD大屏顯示界面美觀(guān)易讀，氣體名稱(chēng)、濃度、報警情況等一目了然，適合國內用戶(hù)習慣。

目前，漢威科技集團的半導體工廠(chǎng)氣體檢測儀GD-HS10已經(jīng)成功應用于多家半導體制造工廠(chǎng)，并獲得用戶(hù)的一致認可。

半導體行業(yè)是關(guān)乎國家安全和科技競爭力的戰略性先導產(chǎn)業(yè)，氣體安全是行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的重要一環(huán)。作為氣體傳感器與安全儀表領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)，漢威科技集團將以高端自研產(chǎn)品護航半導體行業(yè)發(fā)展。